国家知识产权局信息显示，昆山科比精工设备有限公司申请一项名为“一种晶圆复合旋转装置”的专利，公开号CN121510922A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本发明提供一种晶圆复合旋转装置，用于解决现有技术中晶圆承载装置难以安装多片晶圆，且不能保证多片晶圆位置调节和运动控制的一致性，导致片间均匀性波动较大，严重制约高端半导体器件的量产良率和生产成本控制的问题。为本发明提供一种晶圆复合旋转装置，包括：加工槽体，所述加工槽体的左部和右部分别设置有覆膜段和清洗段，所述覆膜段和清洗段的两个传送导轨间均滑动安装有晶圆复合旋转机构，晶圆复合旋转机构用于承载十片晶圆同步进行清洁和金属化加工，通过自转和公转的复合运动，在空间上优化流体分布，使清洁剂和金属化处理液与晶圆接触更充分，并能与环形阳极阵列机构配合，使晶圆表面每点都经历各种电场条件。

天眼查资料显示，昆山科比精工设备有限公司，成立于2009年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，昆山科比精工设备有限公司参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息89条，此外企业还拥有行政许可3个。

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作者：情报员