国家知识产权局信息显示，魅杰半导体设备（无锡）有限公司申请一项名为“一种用于套刻误差测量的照明光路”的专利，公开号CN121500678A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于套刻误差测量的照明光路，包括沿光路依次分布的匀光棒、准直镜、孔径光阑、聚光镜、视场光阑、中继准直镜以及物镜，准直镜和聚光镜、中继准直镜和物镜分别形成4f系统；匀光棒用于收集和匀化光源光；准直镜用于将匀光棒输出端的发散光束转换为平行光；聚光镜用于将经过孔径光阑的平行光聚焦到聚光镜焦平面，并通过视场光阑限定照明区域；中继准直镜用于将聚焦到聚光镜焦平面的平行光进行二次准直。本发明公开的照明光路通过创新双链路误差控制机制独立调控照明角度对称性和照明区域均匀性，有效抑制光学套刻量测的TIS误差。

天眼查资料显示，魅杰半导体设备（无锡）有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本942.9891万人民币。通过天眼查大数据分析，魅杰半导体设备（无锡）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息127条，此外企业还拥有行政许可1个。

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作者：情报员