国家知识产权局信息显示，广东精瓷新材料有限公司申请一项名为“一种快速升温快速冷却的CVD加热器及其制备方法”的专利，公开号CN121496375A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明公开一种快速升温快速冷却的CVD加热器及其制备方法，CVD加热器安装于CVD设备真空腔底部进行使用，包括有金属座、水冷盘以及陶瓷发热盘；该水冷盘贴合固定于金属座的下表面，该陶瓷发热盘贴合固定于金属座的上表面，该陶瓷发热盘具有陶瓷绝缘层，该陶瓷绝缘层为氮化铝陶瓷。通过将陶瓷发热盘的陶瓷绝缘层采用氮化铝陶瓷，其热导率、抗热震性能优异，并配合设置水冷盘，以取代传统之采用空心陶瓷柱状连接件来为晶圆实现快速升温或降温，水冷盘相较于空心柱状连接件具有更长的使用寿命，不易损坏，可靠性强，维修简单且成本低，可满足快速升降温需求，不会产生产品开裂问题，提高生产效率。

天眼查资料显示，广东精瓷新材料有限公司，成立于2021年，位于河源市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4513.3014万人民币。通过天眼查大数据分析，广东精瓷新材料有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息27条，此外企业还拥有行政许可9个。

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作者：情报员