国家知识产权局信息显示,柯尔微电子装备(厦门)有限公司取得一项名为“一种晶圆贴膜载台”的专利,授权公告号CN223912830U,申请日期为2025年2月。

专利摘要显示,本申请提出了一种晶圆贴膜载台,包括:基板,基板X轴方向上设置有滑轨;承载台,承载台可滑动的设置于滑轨上方;承载板,承载板通过设置在承载台上的支撑柱固定;鼓风机,鼓风机设置于基板下方,且鼓风机中心点与承载板中心点位于同一轴线;真空组件,设置于承载台上;其中,鼓风机一端抵近承载板,且鼓风机产生的气体流量大于真空组件产生的气体流量。通过鼓风机与真空组件相配合,可针对不同翘曲度的晶圆,使得晶圆更好的贴附在载台上。

天眼查资料显示,柯尔微电子装备(厦门)有限公司,成立于2010年,位于厦门市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本2352.941176万人民币。通过天眼查大数据分析,柯尔微电子装备(厦门)有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目23次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息92条,此外企业还拥有行政许可7个。

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作者:情报员