证券之星消息,根据天眼查APP数据显示西安奕材(688783)新获得一项发明专利授权,专利名为“缺陷检测设备的校准方法、装置、校准设备、产品及介质”,专利申请号为CN202411806987.6,授权日为2026年2月13日。
专利摘要:本发明提供了一种缺陷检测设备的校准方法、装置、校准设备、产品及介质,属于半导体制造技术领域。包括:基于生产硅片,确定缺陷检测设备的光强度基准值;基于所述光强度基准值和缺陷尺寸不同的至少两个缺陷样片,获得所述缺陷尺寸与光强度之间的第一关系信息,所述缺陷样片为具有缺陷的硅片;基于标准硅片,修正所述第一关系信息,获得目标关系信息;根据所述目标关系信息,校准所述缺陷检测设备的检测标准信息,所述检测标准信息为所述缺陷检测设备进行硅片检测时所依据的信息。本发明的技术方案能够解决现有缺陷检测设备易发生过检或漏检的问题。
今年以来西安奕材新获得专利授权10个。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了1.28亿元,同比减nan%。
通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目7次;财产线索方面有商标信息5条,专利信息1518条;此外企业还拥有行政许可24个。
数据来源:天眼查APP
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