国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司申请一项名为“工艺控制系统以及工艺控制方法”的专利,公开号CN121500902A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明提供一种工艺控制系统以及一种工艺控制方法。所述工艺控制系统中,预测模块用于在当前批次晶圆执行被控工艺之前针对被控参数形成预测值,预测值卡控模块用于判断该预测值是否大于一上限值或者小于一下限值,并在超出范围时卡控当前批次晶圆,卡控边界模块至少包括动态边界单元,动态边界单元用于根据近期多个批次晶圆对应的预测值以及实际量测值数据计算EWMA均值μ、高斯分布标准偏差σ,并以μ + nσ作为上限值,以μ - nσ作为下限值,动态的上限值和下限值会根据近期多个批次晶圆对应的预测值以及实际量测值数据变化,可避免仅利用人工设置的卡控边界判断预测值是否异常时存在的标准不统一以及灵活性和稳定性差的问题。

天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目192次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息974条,此外企业还拥有行政许可56个。

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作者:情报员