国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种半导体结构的制造方法”的专利，公开号CN121510882A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本申请提供一种半导体结构的制造方法，利用第一刻蚀工艺对半导体结构的第一形貌进行修饰，得到过渡形貌，第一刻蚀工艺的第一入射角度根据第一起伏度差值、刻蚀速率以及等效入射角之间的第一对应关系确定，第一起伏度差值为第一形貌中第一最高点和第一最低点之间的差值。利用第二刻蚀工艺对过渡形貌进行修饰，得到第二形貌。第二刻蚀工艺的第二入射角度根据第二起伏度差值、刻蚀速率以及等效入射角之间的第二对应关系确定，第二起伏度差值为过渡形貌中第二最高点和第二最低点之间的差值，第二形貌满足平坦化条件。2次刻蚀工艺是通过最大化最高点和最低点之间的刻蚀速率差值确定入射角度，能够实现表面缺陷的修饰，实现半导体结构的全局平坦化。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目261次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息486条，此外企业还拥有行政许可14个。

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作者：情报员