细美事申请转移模块及包括该转移模块的基板处理装置专利,吸附并且固定基板的下表面
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国家知识产权局信息显示,细美事有限公司申请一项名为“转移模块及包括该转移模块的基板处理装置”的专利,公开号CN121510923A,申请日期为2025年6月。
专利摘要显示,本公开提供转移模块及包括该转移模块的基板处理装置。转移模块包括:支承板,基板支承在支承板上;以及吸附部分,设置在所述支承板上,吸附并且固定所述基板的下表面,并且包括在外周表面中在一个方向上向内凹入形成的凹槽。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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