国家知识产权局信息显示,广州乐仪投资有限公司申请一项名为“具有高品质因数的压电驱动硅基微机电谐振器”的专利,公开号CN121508481A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本发明具有高品质因数的压电驱动硅基微机电谐振器,包括具有空腔的衬底硅层以及设置在所述衬底硅层上覆盖所述空腔的振动膜层,所述振动膜层从下至上依次包括底电极层、压电层和顶电极层,所述底电极层从下至上依次包括器件硅层、介质层和第一金属层,所述介质层覆盖部分的器件硅层,所述第一金属层至少覆盖部分所述介质层,且所述第一金属层至少部分延伸到介质层外侧,并覆盖至少部分所述器件硅层;本发明通过第一金属层覆盖所述介质层,以及第一金属层包裹或者半包裹所述介质层的结构,使得本发明所述的压电驱动硅基微机电谐振器在全温范围内获得高品质因数Q值和低电学损耗,即低串联谐振阻抗。
天眼查资料显示,广州乐仪投资有限公司,成立于2020年,位于广州市,是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本50万人民币。通过天眼查大数据分析,广州乐仪投资有限公司专利信息33条,此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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