光刻胶真相:看着像墨水,实则是芯片行业的隐形枷锁
最近听说光刻胶的事儿,不是网上说的“缺一桶胶就停厂”,而是连试错的机会都得等三五年。中芯国际用的ArF光刻胶,去年终于有国产的了,彤程新材做的,进了产线,但光是“进去”还不够——得稳稳跑满上万片晶圆,参数不漂移,才敢说真能用。
这玩意儿看着像墨水,其实根本不是。树脂要提纯到十亿分之一的杂质都算多,EUV用的还得扛住13.5纳米的极紫外光轰击,日本几家公司干这活三十多年,数据库厚得查不到头。他们不卖配方,只卖“配好+调好+验证好”的整套服务。你买胶,顺带把工艺参数、烘烤温度曲线、甚至显影时间都交出去,慢慢就绕不开了。
低端站稳、中端突破、高端攻关:国产光刻胶真实战局
国产光刻胶现在能打G/I线,也就是老式芯片用的,北旭电子在面板厂已经占了一半市场。KrF(248nm)也能量产,市占率超四成。最难的是ArF(193nm)和EUV,徐州博康搞出了14nm湿法光刻胶,靠的是自己从单体合成做起,把树脂、光酸、溶剂全攥在手里,认证链短了一半。南大光电和上海新阳正盯着EUV树脂,国家“02专项”也转头支持材料基因平台,说白了就是别再靠老师傅试错,得用数据算出来。
有意思的是,中国厂子反而给了国产胶更多机会。中芯国际新建的28nm以上产线,愿意让国产胶上机跑,容错率高;晶瑞电材拉着中石化一起搞ArF树脂,化工巨头的反应釜和纯化能力,真比小材料公司强太多。雅克科技直接买下LG化学的光刻胶部门,配方、客户名单、认证记录全拿过来,消化完再迭代——这不是抄作业,是把作业本借来自己重做一遍。
1.3万亿芯片大盘里,光刻胶正在挣回中国份额
2024年国内光刻胶市场卖了26个亿,ArF这块涨得最快,26.6%。彤程和南大光电两家财报都涨了,说明不是光喊口号,真有订单进账。而整个中国芯片市场去年1.3万亿,到2029年奔2万亿去,这么大的池子,哪怕只分1%给国产胶,也是实打实的生存空间。
光刻胶这事,从来不是缺一瓶墨水,是缺一整套“知道怎么制墨”的人、设备、数据和信任。现在人有了,设备在建,数据平台刚起步,信任也正一点点挣回来。
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