国家知识产权局信息显示,力晶积成电子制造股份有限公司申请一项名为“诊断机台效率的方法”的专利,公开号CN121523239A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本公开提供一种诊断机台效率的方法,其包括以下步骤。对每个机台的生产指标进行检测,其中生产指标包括:第一指标,其为产出包含多个晶圆的批量货物(lot)的时间周期(time of cycle,TC);以及第二指标,其为批量货物处理时间(lot process time,LPT)。对相同群组的机台的生产指标进行第一分析。将生产指标与各机台的历史数据进行第二分析。根据第一分析和/或第二分析取得能够示出效率异常的目标机台的第一结果。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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