国家知识产权局信息显示,中环领先半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种外延片及其制备方法”的专利,公开号CN121519174A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本申请提供一种外延片及其制备方法,外延片的制备方法包括如下步骤:提供衬底,将衬底置于外延炉,通入氢气,对衬底进行烘焙;进行第一次降温,通入硅源和掺杂源,在衬底表面沉积覆盖层;进行第二次降温,在覆盖层表面生长外延层。本申请提供的外延片的制备方法,通过增加沉积覆盖层的工艺步骤,结合前期的烘焙工序,能够有效抑制外延层的自掺杂效应;同时,控制烘焙工序和沉积工序之间的温度差,也能够进一步抑制自掺杂效应,从而使得外延片的SRP过渡区保持在理想宽度,改善器件性能。
天眼查资料显示,中环领先半导体科技股份有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本500000万人民币。通过天眼查大数据分析,中环领先半导体科技股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目348次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息1182条,此外企业还拥有行政许可236个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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