国家知识产权局信息显示，拓荆科技（上海）有限公司申请一项名为“一种调平装置、方法以及半导体设备”的专利，公开号CN121519030A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请涉及一种调平装置、方法以及半导体设备，调平装置包括永磁阵列、电磁绕组、转接板、调整板及传感器；电磁绕组设于转接板，调整板与转接板平行，永磁阵列安装于调整板且与电磁绕组对应；传感器检测两板之间距离及调整板倾斜状态，通过调整电磁绕组电流控制两板平行。调平方法通过测量间距与倾斜状态，计算目标悬浮力及电流，实现两板的平行控制。半导体设备包括反应腔、加热盘、喷淋板及上述调平装置，加热盘设于下腔且与调整板连接，喷淋板固定于上腔。通过实时检测加热盘倾斜程度、调节各支撑点悬浮力，克服动态干扰带来的平行度偏差，实现加热盘与喷淋板之间的动态平行，确保工艺效果的稳定可靠。

天眼查资料显示，拓荆科技（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本143253.79万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆科技（上海）有限公司参与招投标项目37次，专利信息371条，此外企业还拥有行政许可40个。

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作者：情报员