国家知识产权局信息显示,上海传芯半导体有限公司申请一项名为“OMOG光掩模制造方法”的专利,公开号CN121522952A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,一种OMOG光掩模制造方法,包括以下步骤:提供透明基板;在透明基板上沉积具有预设厚度的硅层或钼层;对硅层进行图案化的钼聚焦离子束扫描,使Mo离子移动到被扫描的区域内的硅层中,形成图案化的钼硅化物层;或,对钼层进行图案化的硅聚焦离子束扫描,使Si离子移动到被扫描的区域内的钼层中,形成图案化的钼硅化物层;去除未反应的硅层或钼层,形成OMOG光掩模。本发明能够最大程度减小钼硅化物层的厚度并最大程度提高吸光率,能够满足OMOG光掩模的发展需求,且利于节约制造成本。

天眼查资料显示,上海传芯半导体有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本9376.6144万人民币。通过天眼查大数据分析,上海传芯半导体有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息123条,此外企业还拥有行政许可17个。

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作者:情报员