国家知识产权局信息显示,中环领先半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种降低硅片表面损伤的清洗工艺”的专利,公开号CN121531949A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明提供一种降低硅片表面损伤的清洗工艺,包括在除蜡槽中对硅片进行除蜡,除蜡槽中的除蜡溶液为含有双氧水与去蜡剂的混合溶液。本发明不仅可降低硅片表面颗粒度,确保了硅片的清洗效果,同时避免了清洗工艺造成的硅片腐蚀,有效降低了硅片表面损伤,提高了硅片的表面品质。
天眼查资料显示,中环领先半导体科技股份有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本500000万人民币。通过天眼查大数据分析,中环领先半导体科技股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目348次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息1182条,此外企业还拥有行政许可236个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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