国家知识产权局信息显示,苏州厚朴传感科技有限公司申请一项名为“一种用于真空镀膜膜厚测量装置”的专利,公开号CN121521040A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请涉及膜厚测量装置的技术领域,尤其是涉及一种用于真空镀膜膜厚测量装置,其包括装置体,所述装置体上安装有放置晶振探头的晶振座、驱动晶振座转动的驱动源,其特征在于:所述装置体包括固定安装于镀膜室内的冷却组件,所述冷却组件包覆在所述晶振座外侧,所述冷却组件内部设有装有冷却液的冷却流道,所述冷却流道与外部冷却设备相连以实现循环冷却,所述冷却组件包括与冷却流道连通的冷却下盖,所述冷却下盖开设有与镀膜室内连通的开口。本申请通过主动冷却方式有效抑制温度波动对晶振片频率的影响,提升膜厚测量的精度,冷却下盖的开口设计确保晶振片在测量时能暴露于镀膜环境中,兼具冷却功能以及将晶振片与镀膜环境连通的双重作用。
天眼查资料显示,苏州厚朴传感科技有限公司,成立于2013年,位于苏州市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州厚朴传感科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目11次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息73条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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