国家知识产权局信息显示,苏州艾斯达克智能科技有限公司申请一项名为“晶圆片自动化转运方法”的专利,公开号CN121536626A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明公开了一种半导体晶圆氮气智能仓储方法,应用于包括过渡净化设备、旋转台组件、密封门组件、晶圆机械手、巷道垛机和气体循环装置的系统。该方法包括:步骤一,进料与预净化;步骤二,缓存与载环整理,利用料取料机械手将载环载体缓存至货架;步骤三,旋转接驳与姿态调整并配合密封门实现气闸,载环载体经旋转台旋转约180°朝向巷道,同时外侧门和内侧门交替开闭形成气闸;步骤四,巷道内转移与存储,由晶圆机械手接取载环载体并转运至巷道垛机完成入库;步骤五,氮气循环与环境维持。本发明通过进料预净化、旋转接驳、双门气闸与氮气循环的协同控制,实现了晶圆片无接触、高洁净、高密度的自动化氮气仓储,有效防止污染和氮气泄漏。
天眼查资料显示,苏州艾斯达克智能科技有限公司,成立于2014年,位于苏州市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2782.05万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州艾斯达克智能科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息120条,此外企业还拥有行政许可1个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴