国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“半导体结构及其制备方法”的专利,公开号CN121548089A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本申请公开了一种半导体结构及其制备方法,涉及半导体技术领域。制备方法包括:于基底上形成伪栅极、刻蚀阻挡层和层间介质层,伪栅极的数量为多个且间隔设置,刻蚀阻挡层覆盖伪栅极的侧壁和顶表面,层间介质层覆盖刻蚀阻挡层,并填充相邻两伪栅极之间的沟槽;研磨层间介质层和刻蚀阻挡层,直至露出伪栅极的顶表面,及沟槽内的层间介质层中形成凹陷;将伪栅极替换成栅极材料,栅极材料填充凹陷;采用化学干法刻蚀工艺刻蚀栅极材料,直至露出凹陷的内壁;对栅极材料和层间介质层进行平坦处理,形成栅极,栅极远离基底的顶表面和层间介质层远离基底的顶表面齐平。降低半导体结构出现短路的风险,提高半导体结构的良率和性能。

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200759.1697万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目638次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1632条,此外企业还拥有行政许可22个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员