国家知识产权局信息显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请一项名为“阀门的控制装置和半导体工艺设备”的专利,公开号CN121539751A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本申请提供了一种阀门控制装置和半导体工艺设备,涉及半导体器件的加工领域。阀门的控制装置中,包括电性连接的继电器、电动阀制动回路和电动阀执行模块,电动阀制动回路包括第一制动回路和第二制动回路,第二制动回路的一端用于与软件系统控制的开关电路电性连接,其中:继电器,用于根据所述流量计输出的信号控制第一触点闭合,使得所述第一制动回路导通,所述第二制动回路断开;第一制动回路,用于在导通时向所述电动阀执行模块传输第一控制信号;所述电动阀执行模块,用于根据所述第一控制信号控制所述阀门关闭。通过本申请实施例提出的上述控制装置,可以通过纯硬件回路关闭阀门,切断化学源供给。

天眼查资料显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司,成立于2023年,位于沈阳市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司参与招投标项目26次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息479条,此外企业还拥有行政许可16个。

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作者:情报员