国家知识产权局信息显示，合肥欣奕华智能机器股份有限公司申请一项名为“一种同轴自动对焦方法”的专利，公开号CN121541355A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种同轴自动对焦方法，包括：利用激光焦点在晶圆表面形成损伤点；沿Z向将调焦F轴向上移动并调节标靶调节模块，通过同轴电荷耦合器件观察，直至标靶成像清晰，记录十字标靶在晶圆表面上方空气中成清晰像时的调焦F轴坐标到激光焦点在晶圆表面聚焦形成的损伤点的调焦F轴的坐标的差值；在晶圆加工过程中，驱动调焦F轴沿Z向移动，通过同轴电荷耦合器件进行图像匹配，以识别标靶清晰成像的调焦F轴的坐标位置f2’，并基于插值得到实际的晶圆加工点。本发明可以在激光焦点与十字标靶焦点共焦与不共焦之间进行切换，可用于解决超薄晶圆正面电极明暗度对视觉共焦方案自动对焦图形识别干扰问题。

天眼查资料显示，合肥欣奕华智能机器股份有限公司，成立于2013年，位于合肥市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本34463.5686万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥欣奕华智能机器股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目173次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息428条，此外企业还拥有行政许可16个。

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作者：情报员