国家知识产权局信息显示,凯美珀股份有限公司;科学价值解决方案股份有限公司申请一项名为“新型芳族缩合高分子化合物和抗蚀剂底层膜组合物”的专利,公开号CN121548603A,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本发明提供了一种芳族缩合二元聚合物或三元聚合物化合物,其具有1,500至30,000的重均分子量,并且是通过杂芳族化合物、环戊酮衍生物和芳族化合物在酸催化剂条件下的缩合反应形成的。还提供了一种抗反射抗蚀剂底层膜组合物,其包含:(i)所述芳族缩合二元聚合物或三元聚合物化合物或包含该芳族缩合二元聚合物或三元聚合物化合物的高分子化合物共混物;和(ii)有机溶剂。

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作者:情报员