国家知识产权局信息显示,江苏首芯半导体科技有限公司申请一项名为“沉积腔体及沉积设备”的专利,公开号CN121538621A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本公开涉及半导体领域,提供一种沉积腔体及沉积设备,至少可以提高沉积腔体的排气效率。沉积腔体包括腔体结构、进气孔、匀气板、基座和排气孔。腔体结构的内部设置有腔室;进气孔设置在腔体结构上,进气孔与腔室相连通,还用于连通提供气体的进气管;匀气板位于腔室内,匀气板具有多个贯穿匀气板的匀气孔,其中,进气孔位于匀气板上方;基座位于腔室内,基座用于放置晶圆;第一排气孔设置在腔体结构上,并位于匀气板下方,第一排气孔与腔室连通,用于排出腔室内的气体;第二排气孔设置在腔体结构上,并位于匀气板上方,第二排气孔与腔室连通,用于排出腔室内的气体。
天眼查资料显示,江苏首芯半导体科技有限公司,成立于2023年,位于无锡市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1433.9071万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏首芯半导体科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息34条,此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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