国家知识产权局信息显示,盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司申请一项名为“一种线圈装置以及气相沉积设备”的专利,公开号CN121538627A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种线圈装置以及气相沉积设备,涉及半导体技术领域。该线圈装置包括顶板和第一线圈机构。第一线圈机构包括第一定心转动组件、第一安装板、第一线圈和第一调节组件,第一安装板通过第一定心转动组件与顶板活动连接,第一定心转动组件具有第一转动中心,第一线圈安装于第一安装板,第一调节组件安装于顶板,且与第一安装板连接,第一调节组件用于带动第一安装板绕第一转动中心转动,以调节第一线圈的倾斜角度。本发明提供的线圈装置能够快速调节线圈的倾斜角度,从而调节磁场的倾斜角度,改善等离子体密度分布,提高沉积均匀性,保证产品质量。
天眼查资料显示,盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司,成立于2021年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本7000万人民币。通过天眼查大数据分析,盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司参与招投标项目5次,专利信息47条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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