国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“体积减小的多路分解器系统和方法”的专利，公开号CN121548781A，申请日期为2024年4月。

专利摘要显示，描述了一种量测系统。超构表面用于替换（或增强）现有多路分解器，以减少量测系统中多路分解器的体积。超构表面被配置为接收来自辐射源的衍射辐射束，并且将该束分离成较窄带辐射子束，与入射波长范围、振幅、脉冲频率、脉冲时间、一个或多个偏振态、角度内容和/或空间内容相比，该较窄带辐射子束具有经修改的波长范围、振幅、脉冲频率、脉冲时间、一个或多个偏振态、角度内容和/或空间内容。

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作者：情报员