国家知识产权局信息显示,吾拾微电子(苏州)有限公司申请一项名为“一种晶圆翘曲校正装置”的专利,公开号CN121548253A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本申请涉及一种晶圆翘曲校正装置,包括:壳体;校正组件,用于对翘曲的晶圆进行校正,包括下板组件和上板组件以及驱动件,翘曲晶圆能够放置在下板组件上,驱动件能够驱动上板组件朝向下板组件移动以将翘曲晶圆校正;下板组件包括吸盘、位于吸盘下方的第一加热盘、第一水冷盘,第一加热盘包括第一加热区和围绕在第一加热区外侧的第二加热区,第一加热区的温度低于第二加热区的温度,使得晶圆被吸盘吸附时,实现对晶圆的按需加热,对翘曲严重的四周区域施加更高温度以高效释放应力、促进形态恢复,对本身平整的中间区域采用较低温度以避免产生新的热应力,大幅提升了翘曲修复的效率和精度,减少校正后二次变形的风险。

天眼查资料显示,吾拾微电子(苏州)有限公司,成立于2020年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本521.4287万人民币。通过天眼查大数据分析,吾拾微电子(苏州)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目29次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息43条,此外企业还拥有行政许可4个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员