国家知识产权局信息显示,铨扬精密有限公司申请一项名为“半导体干燥室排气管组”的专利,公开号CN121534901A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本发明提供一种半导体干燥室排气管组,装设于半导体干燥室外部,主要包含一排气竖管结合多组排气横管,于排气横管上设有复数个导气管组,接设于半导体干燥室外部一侧面上,且与半导体干燥室内部导通,而排气竖管末端与抽风设备导接;其中,各导气管组的外部均以加热布包包覆,而各管体的内部设为铝合金管体,并内置薄膜加热片,外部再以隔热板包覆,另于该排气横管的尾端连接以一组管路伸缩套件;借此结构设计,让排气管组管维持一定温度、避免冷却结晶阻塞,而于半导体干燥室抽出的热废气时,排气横管和排气竖管因受热膨胀时,具有一伸缩裕度,避免造成结构上的损害。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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