国家知识产权局信息显示,柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请一项名为“晶圆检测装置及方法”的专利,公开号CN121548282A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本公开提供一种晶圆检测装置及方法,晶圆检测装置包括:用于放置待检测晶圆的接口装置;用于执行晶圆的对位操作,并设置有晶圆干燥装置的旋转定位装置,晶圆干燥装置用于干燥晶圆;包括第一载台、正面检测装置和背面检测装置的晶圆检测设备,第一载台用于固定晶圆,正面检测装置用于检测第一载台上的晶圆的正面缺陷,背面检测装置用于检测晶圆的背面缺陷;用于将接口装置中的晶圆转移至旋转定位装置、将旋转定位装置中的晶圆转移至晶圆检测设备、以及将晶圆干燥装置中的晶圆转移至接口装置的上料机械手;以及与上料机械手相互独立设置,用于将晶圆检测设备中的晶圆转移至晶圆干燥装置的下料机械手。晶圆检测方法使用上述晶圆检测装置。
天眼查资料显示,柯尔微电子装备(厦门)有限公司,成立于2010年,位于厦门市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本2352.941176万人民币。通过天眼查大数据分析,柯尔微电子装备(厦门)有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目23次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息93条,此外企业还拥有行政许可7个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴