国内已实现8英寸及以上碳化硅衬底量产的公司如下(按量产成熟度排序):
一、已大规模量产(第一梯队)
- 天岳先进(688234)
全球少数8英寸SiC量产企业,8英寸已大规模出货,2024年8英寸为主产能约46万片/年;12英寸衬底已推出并送样 。
- 天科合达
2024年实现8英寸大规模量产,良率提升至68%,2025年总产能规划50–80万片/年(含8英寸);计划2025年Q3量产12英寸。
- 三安光电(600703)
湖南三安8英寸衬底1000片/月、芯片1000片/月、外延2000片/月量产;重庆与意法合资规划8英寸48万片/年 。
- 晶盛机电(300316)
子公司浙江晶瑞8英寸SiC衬底已批量生产;12英寸导电型晶体已成功生长 。
二、已量产/中试量产(第二梯队)
- 科友半导体
2023年8英寸中试线贯通,具备批量制备能力,2025年产能约5000片/年。
- 华润微(688396)
8英寸SiC MOS已顺利产出,参数与良率达标 。
- 烁科晶体
8英寸衬底已量产,同时布局12英寸研发。
- 南砂晶圆
8英寸衬底实现量产,12英寸已研制成功。
三、小批量/送样验证(第三梯队)
- 露笑科技(002617)
已生长出高质量8英寸晶体,工艺体系成熟,正推进规模化量产。
- 合盛硅业(603260)
8英寸衬底已小批量出货,12英寸已研制。
- 晶越半导体、天成半导体
8英寸已量产,12英寸样品验证中。
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