国家知识产权局信息显示，绍兴芯链半导体科技有限公司申请一项名为“一种光罩空白及其保护镀层”的专利，公开号CN121559808A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种光罩空白及其保护镀层，所述光罩空白包括：透明基板，设置于光罩空白最下方；遮光性膜，设置于所述透明基板上，包括：第一抗反射层，设置于所述透明基板上；遮光层，设置于所述第一抗反射层上；第二抗反射层，设置于所述遮光层上；保护膜，设置于所述遮光性膜上，用于隔绝降低光阻功能的物质向化学放大型光阻膜移动；化学放大型光阻膜，设置于所述保护膜上。本发明在传统的含富含铬材料的光罩基板上再镀制一保护膜，该保护膜含碳及含氮量控制在小于10atm％,含氧量高于40atm%，将富氮富碳及低氧的传统铬膜与化学放大型光阻膜阻隔，避免上述光阻膜之化学放大功能的物质从光阻膜的底部朝向光罩空白内移动，同时增加光阻膜与含铬膜的附着力。

天眼查资料显示，绍兴芯链半导体科技有限公司，成立于2022年，位于绍兴市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本11819.932144万人民币。通过天眼查大数据分析，绍兴芯链半导体科技有限公司参与招投标项目34次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息35条，此外企业还拥有行政许可11个。

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作者：情报员