证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于晶圆加工的承载头、化学机械抛光设备和方法”，专利申请号为CN202411538284.X，授权日为2026年2月24日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种用于晶圆加工的承载头、化学机械抛光设备和方法，承载头包括圆形的主体部，其内部具有第一通气管路和第二通气管路；第一弹性膜，其与主体部的表面之间限定出中心腔体和多个环形腔体，多个环形腔体均与中心腔体同心，中心腔体与多个环形腔体均与第一通气管路连通，以使第一弹性膜的下表面吸附或松脱晶圆，且多个环形腔体中的至少一个朝向晶圆的表面设有多个气孔；第二弹性膜，其位于具有多个气孔的环形腔体内，第二弹性膜与第二通气管路连通，以封堵和敞开气孔。本申请实施例提供一种承载头、装置和晶圆抛光方法，能够稳定的吸附晶圆，并在晶圆抛光作业完成后，使晶圆与承载头脱离。

今年以来华海清科新获得专利授权6个，较去年同期减少了50%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目258次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息797条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

打开网易新闻 查看精彩图片