证券之星消息,根据天眼查APP数据显示光迅科技(002281)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种测量金属膜膜厚的优化方法”,专利申请号为CN202310843452.5,授权日为2026年2月24日。

专利摘要:本发明公开了一种测量金属膜膜厚的优化方法,包括:创建输入功率、金属膜膜厚和工艺时间之间的测量模型;根据真空镀膜理论,获取金属膜的第一极限电阻率;获取第一极限电阻率、金属膜材电阻率和金属膜膜厚之间的对应关系;将对应关系和第一极限电阻率输入到测量模型内,将测量模型转换为中间模型;对金属膜方阻与输入功率进行线性拟合,获取中间模型的参数,并利用中间模型的参数对测量模型的参数进行定标,并利用标定后的测量模型计算出金属膜膜厚。本发明对测量模型的参数进行标定,在保证测量模型准确性的同时,只需要知道工艺时间和输入功率就能通过标定后的测量模型,计算出金属膜膜厚;省去了金属膜膜厚的测量,极大降低成本提高效率。

今年以来光迅科技新获得专利授权25个,较去年同期增加了150%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了4.46亿元,同比增42.91%。

通过天眼查大数据分析,武汉光迅科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目2380次;财产线索方面有商标信息7条,专利信息1871条,著作权信息119条;此外企业还拥有行政许可93个。

数据来源:天眼查APP

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