国家知识产权局信息显示，上海创熠微材料科技有限公司申请一项名为“分体式的低温等离子体反应装置及其半导体处理设备”的专利，公开号CN121565765A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本发明提供一种分体式的低温等离子体反应装置及其半导体处理设备，反应装置用于向所述半导体处理设备的反应腔输送等离子体活性组分，反应装置包含：包括同轴介质阻挡反应器，反应器包括等离子体发生器、电极棒、内环石英管、外环石英管以及外环金属；其中，外环金属包括间隔的前端外环金属层和后端外环金属层，前端外环金属层和后端外环金属层分别连接不同电位。

天眼查资料显示，上海创熠微材料科技有限公司，成立于2024年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2500万人民币。通过天眼查大数据分析，上海创熠微材料科技有限公司财产线索方面有商标信息2条，专利信息5条，此外企业还拥有行政许可3个。

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作者：情报员