光刻机这玩意儿,说白了就是芯片制造的核心家伙事儿,没有它,手机电脑啥的都得歇菜。
荷兰的ASML公司在这块儿干了40多年,慢慢磨出世界顶尖水平,可中国企业这几年发力,投入那叫一个猛,搞得专家们直呼没想到。
马克·海金克,这位荷兰半导体观察者,曾在访谈中指出,ASML花了40年才到今天这步,中国企业却有种更狠的劲头,啥原因呢?
ASML公司1984年从飞利浦和ASM合资搞起来,那时候就是个小厂子,主要靠母公司撑腰。起初,他们的设备性能一般,市场份额也不大,基本靠价格低廉和自家工厂用。到了1990年代,推出PAS系列光刻机,对准技术开始显山露水,因为芯片设计越来越复杂,这项技术帮了大忙。
2000年后,ASML转战极紫外光EUV技术,从1997年就加入国际联盟研究,花了十几年才搞定光源和稳定性问题。2017年,EUV机器才真正进入大规模生产,成本高得吓人,一台机器上亿欧元,但就是靠这个,ASML抢了尼康和佳能的市场。
到2024年,ASML营收达到282亿欧元,全球光刻机市场占83%,几乎垄断EUV领域。他们的机器能刻出8纳米以下图案,供应给台积电、三星这些大厂。
2025年,又推出更高数值孔径的设备,产能提升50%,光源功率从600瓦跳到1000瓦。这40年,ASML不是一蹴而就,而是靠持续投入研发,合作供应商近5000家,积累了海量数据和经验。海金克在书里说,这公司像个系统整合大户,靠长跑精神站稳脚跟。
中国光刻机起步晚,早期只是科研项目,没想商业化。但从2010年代后期开始,受出口限制影响,企业们开始自力更生。
上海微电子设备SMEE公司在2002年成立,主要搞深紫外光DUV机器,到2023年推出28纳米浸没式设备,2025年实现90纳米量产。这公司拉拢产业链上下游,综合水平逐步追上。
2019年华为深度介入,协调多家企业,搞垂直一体化。从通讯到芯片设计,再到制造设备,华为像英特尔三星那样布局。2025年,深圳实验室建成EUV原型机,用了老ASML部件和招募的前工程师,奖金高达40-70万美元。
报道说,这原型机破解了EUV瓶颈,预计2028-2030年就能产出芯片,比专家预想早5年。
海金克指出,中国企业不像ASML那样慢慢来,而是全产业链并行推进,政府资金砸进去上千亿,速度快得惊人。SMIC用DUV推到7纳米甚至5纳米,产量虽低,但证明了本土工具潜力。
中国企业这股狠劲儿,还体现在全球挖人上。2023年,ASML指控前员工偷数据加入华为,官司打到8450万美元。2025年,SMIC和华虹等厂开始用本土工具占50%,这在2022年还不可想象。
海金克访谈中说,中国有独特理由投入更多时间精力,哪怕是华为这种门外汉,也深入设备技术,这在产业史上头一遭。
美中贸易摩擦从2018年就影响光刻机出口,美国施压荷兰政府,挡住ASML对华销售EUV机器。2023年,荷兰政府要求先进设备出口许可证,2024-2025年进一步收紧,ASML遵守规定,拒绝来自受限国家的求职者。
中国市场占ASML销售29%,但EUV从没卖过,主要卖老款DUV。2025年,ASML订单高达390亿欧元,中国占比降到20%,主要靠AI需求从台积电和英特尔拉动。
ASML夹在中美欧之间,荷兰政府倾向美国,但公司想中立做生意。中国企业则绕道,用二手部件和逆向工程,加速本土化。
日本尼康和佳能占剩余市场6%,但在EUV上追不上ASML。中国企业如SiCarrier声称订单超100亿人民币,但实际采用率低,主要在存储芯片厂试水。整体看,地缘限制逼中国企业更狠,短期内ASML垄断稳,但长期竞争加剧。
专家估计,中国EUV需几年优化产量,但投入规模大,可能缩短差距。海金克观察,ASML40年积累是底子,中国企业狠在执行力和资源倾斜,这场赛跑不光技术,还看供应链和政策。
全球只剩荷兰、日本、中国三家在整机制造上发力,美国早退出。ASML2025年营收预期强劲,但中国突破EUV原型,让格局变数增大。
海金克强调,这不是零和游戏,产业需要合作,但现实中摩擦不断。中国企业这股劲头,确实比ASML狠,未来芯片业怎么变,咱们拭目以待。
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