EUV光刻机诞生已经有十多年了,这十多年间,其实更新了N代,当然如果按照技术层级来看,至少也更新了两代。

第一代是NA=0.33的普通EUV光刻机,而第二代则是NA=0.55的High EUV光刻机。

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按照ASML的规划,NA=0.33的普通光刻机,用到3nm芯片时就差不多了,最多达到2nm芯片,然后就要换成NA=0.55的High EUV光刻机。

在此之后,ASML还计划推出NA=0.75的Hyper EUV系统,一代又一代的升级,让晶圆厂们跟着不断的换代。

因为NA更大,所以分辨率更高,制造芯片的精度更高,这样像台积电、三星、英特尔等厂商,就会不断的更换EUV光刻机。

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但没有想到的是,才发展到第二代NA=0.55时,台积电就不太想换EUV光刻机了,觉得使用NA=0.33的就行,宁愿多一重曝光。

为何台积电不愿意换,因为成本太高了,台积电目前有上百台的EUV光刻机,而High EUV一台是4亿多美元,全部换掉就是400多亿,就是近3000亿元。

台积电当然不想花这个成本啊,所以台积电之前就表态称,2nm肯定用NA=0.33的就行,1.4nm也用NA=0.33的EUV就成,至于以后的事,以后再说。

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但话里话外就一个意思,能不用,我就坚决不用,3000来亿元的投入,你以为是3000块啊,台积电再也不用,也不会这么乱搞。

这对于ASML而言,当然就不是好消息了,普通EUV的钉子户肯定不是ASML喜欢的,当然要想办法逼着台积电换机器了。

既然提高NA已经不让台积电动心了,那想什么办法呢,最近ASML想到了,那就是提高EUV的产能。

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按照ASML的说法,他们有了新的突破,接下来可以将EUV光刻机的光源从600W提高至1000W,然后让晶圆处理速度提高50%,从原来的220片每小时,提升至330片每小时。

很明显,这就是ASML的阳谋,逼着台积电等厂商,淘汰掉旧的EUV光刻机,换成新的EUV光刻机,因为产能高50%这个诱惑真的太大了,这么一提升,相当于成本降30%左右啊。

如果台积电不换,英特尔三星等换了,然后成本降30%,那台积电怎么办?就没有竞争优势了啊。

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当然,ASML也在探台积电们的口风,所以没说一下子就实现到位,说要到2030年才能全部落实到位,这中间是有玄奥的。

如果台积电们表示对这个技术感兴趣,有这样的新光刻机,那么自己就要买,ASML当然是抓紧时间早点落地,让台积电们买。

但如果台积电们同样不感兴趣,觉得产能慢一点也无怕谓,因为投入几千亿来换EUV划不来,那么ASML可能就又会想其它招,反正就是要逼着这些老款EUV钉子户换机器,否则自己怎么赚钱?