国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“干法刻蚀设备用的远程监控系统”的专利，授权公告号CN223941256U，申请日期为2025年4月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种干法刻蚀设备用的远程监控系统，包括干法刻蚀设备和终端，干法刻蚀设备包括相连的EPD模块、信号转换模块和控制器，EPD模块用于获取并且存储刻蚀过程中的第一EPD信号，第一EPD信号包括终点曲线及其对应幅值电压信号；信号转换模块用于将第一EPD信号转换成第二EPD信号，用于和后续控制器进行电压匹配；控制器用于监测干法刻蚀设备的运行状态，控制器与信号转换模块相连，用于实时接收第二EPD信号；终端集成有FDC模块，终端与干法刻蚀设备连接，用于实时获取第二EPD信号。本实用新型可以实现实时远程监控干法刻蚀设备的EPD信号。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目192次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息980条，此外企业还拥有行政许可56个。

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作者：情报员