国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“用于制造微机电装置的方法和微机电装置”的专利，公开号CN121568893A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本发明涉及一种用于制造微机电装置（1）的方法，所述微机电装置具有功能单元（2）、至少一个腔室（3）和界限所述至少一个腔室（3）的罩结构（4），所述罩结构（4）具有至少一个腔室进入通道（5），其中，所述至少一个腔室（3）设置在所述罩结构（4）和所述功能单元（2）之间，其中，所述罩结构（4）通过将材料层（A1、A2、A3、M1、M2、M3、O1）逐步地施加和可选地结构化在罩基底（6）上被制造，所述功能单元（2）附接在所述罩结构（4）上并且所述至少一个腔室进入通道（5）通过蚀刻被引入所述罩结构（4）中，其中，在制造所述罩结构（4）时，覆盖腔室进入通道（5）的出口、伸入所述腔室（3）中的蚀刻停止结构（7）被产生，所述蚀刻停止结构具有蚀刻停止元件（8）和布置在所述蚀刻停止元件（8）中的第一蚀刻停止区域（9）。本发明还涉及一种微机电装置（1）。

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作者：情报员