证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“气体喷洒装置及半导体设备”,专利申请号为CN202520067280.1,授权日为2026年2月27日。

专利摘要:本申请涉及一种气体喷洒装置及半导体设备;该气体喷洒装置包括气体喷头、主动调节轴和从动调节轴芯;气体喷头位于工艺腔室的内部,气体喷头的一端具有出气口;主动调节轴位于工艺腔室的外部,沿气体喷头的轴向延伸;主动调节轴靠近工艺腔室的一端具有第一磁性结构;从动调节轴芯位于气体喷头内,沿气体喷头的轴向延伸;从动调节轴芯靠近主动调节轴的一端具有第二磁性结构;其中,从动调节轴芯与主动调节轴磁耦合传动;从动调节轴芯随主动调节轴转动时,从动调节轴芯沿气体喷头的轴向伸缩移动,以调整气体喷头的气体流道的横截面积,从而调节气体喷头的气体流量。本申请有利于在保证工艺腔室的密封性的前提下,实现气体流量的快速调节。

今年以来晶合集成新获得专利授权83个,较去年同期增加了176.67%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了6.95亿元,同比增13.13%。

通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目638次;财产线索方面有商标信息75条,专利信息1632条,著作权信息9条;此外企业还拥有行政许可22个。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。