（来源：中国市场监管报）

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本报讯 同济大学国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）（筹）在集成电路标准物质方面取得新突破，三项晶圆级标准物质近日经上海市市场监管局审批通过，获得国家二级标准物质证书。

标准物质是化学、生物等专业领域统一量值、开展量值传递溯源的主要载体，发挥着“测量砝码”的重要作用，是国家重要战略资源。通俗地讲，标准物质就是用来衡量检测结果是否准确的“尺子”。上海市市场监管局自2023年率先在全国承接国家二级标准物质审批改革试点以来，通过创新开展涵盖技术能力、原始数据、计量溯源性、生产流程合规性等全要素现场审评，积极发挥专家“技术管家”作用，推出并优化智能审批服务、帮办服务、电子证书同步制发、证书免费邮寄送达等举措，让企业感受到上海速度和温度。

随着集成电路制造向先进节点演进，芯片上的结构越来越小。如果把集成电路制造比作在纳米尺度上盖摩天大楼，那么用于校准量检测设备的晶圆级标准物质就是“标尺”。以同济大学为主体，联合张江实验室筹建的国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）（筹），在上海市市场监管局指导推动下，围绕集成电路制造中的典型结构与缺陷，重点开展了八英寸晶圆级100 nm 一维光栅标准物质、八英寸晶圆级200 nm二维栅格标准物质、八英寸晶圆级100 nm凹陷缺陷标准物质的研制与应用研究。

此次获证的标准物质可为CD-SEM、AFM、缺陷检测设备等集成电路量检测设备提供可靠的量值标准，有效支撑周期测量、角度测量及典型缺陷检测等应用需求。同时，该标准物质可以帮助我国量检测设备企业与晶圆制造厂解决“测不准、测不精、测不全”的产业难题，对提升我国集成电路微纳检测设备的计量测试能力、完善产业计量技术体系具有重要支撑意义。

自承接国家二级标准物质审批改革试点以来，上海已颁发国家二级标准物质证书41张，覆盖标准物质56项。

□诗剑轩