国家知识产权局信息显示,上海亿鼎技术(集团)有限公司申请一项名为“一种用于半导体生产过程中研磨液的供应装置及方法”的专利,公开号CN121572175A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体加工技术领域,特别是涉及一种用于半导体生产过程中研磨液的供应装置及方法,包括供应设备以及设在供应设备内部的原液桶,还包括:进液管,一端固定贯穿原液桶侧壁,桶内部分倾斜向下,另一端与生产设备相连,用于传输研磨液;气管,采用三通管的形式,一端与进液管贯通连接,一端与氮气生成装置连接;导流板,倾斜固定安装在原液桶内部,其内部开设有槽口;风道,一端伸入槽口内部,另一端与气管相连接;导流组件,设在导流板上,用于避免研磨液飞溅。本发明提供的供应装置通过导流组件带动转动扇叶转动,可将柱状液流切割为均匀的薄层液膜,解决了导流板液流集中导致气泡滞留的问题。

天眼查资料显示,上海亿鼎技术(集团)有限公司,成立于2009年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海亿鼎技术(集团)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目26次,财产线索方面有商标信息31条,专利信息133条,此外企业还拥有行政许可14个。

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作者:情报员