国家知识产权局信息显示,辽宁汉京半导体材料有限公司申请一项名为“一种石英保温基座及其制作方法”的专利,公开号CN121586444A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种石英保温基座及其制作方法,涉及石英保温基座技术领域,包括石英基座主体,石英基座主体包括石英架体,石英架体顶部处开设有通槽,通槽内可拆卸地安装有承托组件,承托组件包括两个对称设置的放置件,所述两个放置件共同用于晶圆的安装;放置件具有竖板部,竖板部具有向通槽方向延伸的斜面,斜面由竖板部顶部向通槽方向倾斜设置。通过凸点、卡槽与接触部的配合设置,使得在晶圆安装时,晶圆外壁与接触部形成点接触,也即晶圆与接触部只有两个点接触,晶圆两侧与凸点也形成点接触,减少了晶圆与放置件的实际接触面积,既减少了晶圆与放置件之间粘附的风险,又能提高热处理与晶圆的实际接触面积,提高晶圆的热处理效果。
天眼查资料显示,辽宁汉京半导体材料有限公司,成立于2022年,位于沈阳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析,辽宁汉京半导体材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目19次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息48条,此外企业还拥有行政许可61个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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