国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“一种半导体结构的制备方法”的专利,公开号CN121586286A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本发明公开了一种半导体结构的制备方法,属于半导体技术领域。且所述半导体结构的制备方法包括以下步骤:提供一衬底,所述衬底上设置有缓冲氧化层,所述缓冲氧化层上设置有栅极结构和侧墙,所述侧墙包括内层氮化层、中间氧化层和外层氮化层,相邻所述栅极结构之间的所述衬底中设置有硅锗外延层;去除所述外层氮化层;使用干法刻蚀气体与所述缓冲氧化层和所述中间氧化层反应,原位生成固态副产物层;以及使用升华或灰化去除所述固态副产物层。通过本发明公开的半导体结构的制备方法,可提高形成的半导体器件的性能。

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200759.1697万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目637次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1662条,此外企业还拥有行政许可22个。

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作者:情报员