国家知识产权局信息显示,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司申请一项名为“硅片V型槽抛光中心矫正的加工方法”的专利,公开号CN121572186A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明涉及一种硅片V型槽抛光中心矫正的加工方法,所属半导体硅片加工技术领域,包括如下操作步骤:第一步:根据V型槽轮廓数据,预调抛布环加工中心位置。第二步:启动边抛机电源,真空吸附机械手开始取片加工作业。第三步:第一枚硅片加工完毕返回。第四步:对抛布环两边的痕迹A1面和A2面进行量测。第五步:将数据上传加工中心,对比A1面和A2面数据。第六步:真空吸附机械手开始取第二枚硅片加工作业。第七步:对第二枚硅片的抛布环遗留的痕迹A1面和A2面进行测试,反馈第三枚硅片加工位置。第八步:循环加工直至加工结束,关闭电源。将“事后检测”转变为“过程实时矫正”,利用了加工痕迹作为反馈信息,构建了一个简单而有效的闭环控制系统。
天眼查资料显示,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司,成立于2017年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本523559.0107万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目42次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息417条,此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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