国家知识产权局信息显示，厦门韫茂科技有限公司取得一项名为“一种双腔体结构及其PEALD设备”的专利，授权公告号CN223951169U，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种双腔体结构及其PEALD设备，涉及镀膜设备技术领域。包括外腔体以及安装在所述外腔体内的内腔体；其中，所述内腔体内设置有适于放置晶圆载盘的载台；且所述内腔体适于连接反应源以在所述内腔体内完成镀膜工艺。通过本方案可以提高膜厚均匀性，实现反应区域独立性，提高前驱体利用率，简化维护流程。

天眼查资料显示，厦门韫茂科技有限公司，成立于2018年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本627.726476万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门韫茂科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目107次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息117条，此外企业还拥有行政许可12个。

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作者：情报员