国家知识产权局信息显示,嘉兴鬃晶科技有限公司申请一项名为“一种可持续生长超大厚度碳化硅晶体的方法”的专利,公开号CN121575478A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体材料的技术领域,具体为一种可持续生长超大厚度碳化硅晶体的方法,包括如下步骤,a.生长装置准备;采用带有分区加热模块的PVT电阻法生长炉制备碳化硅单晶;b.原料与籽晶预处理;将碳化硅粉末填充至坩埚内,并将籽晶固定在坩埚内的石墨托上;c.温场与氛围调控;关闭生长炉并抽真空;随后通入惰性气体至炉内,并对炉体内部加热到合适温度;d.晶体生长;在生长过程中,控制晶体的生长面与填料仓内粉料的料面之间的间距保持恒定,同时维持填料仓内粉料的料面高度不变;e.降温与取晶;将炉内降至室温,打开生长炉并取出碳化硅晶体。本发明可以稳定碳化硅生长过程中的温场,避免晶体出现位错、堆垛层错甚至裂纹缺陷,提升结晶质量。
天眼查资料显示,嘉兴鬃晶科技有限公司,成立于2025年,位于嘉兴市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本558.3334万人民币。通过天眼查大数据分析,嘉兴鬃晶科技有限公司共对外投资了1家企业,专利信息5条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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