国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“具有捕集层和密封层的处理室预涂布”的专利，公开号CN121586788A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，公开了关于预处理处理工具的处理室的示例。一示例提供操作处理工具的方法。该方法包括，于预处理阶段，在处理工具的处理室内的内表面上沉积底涂层。该方法进一步包括，在预处理阶段中，通过执行一个或更多个预涂循环来沉积预涂层。每一预涂循环包括在处理室内的内表面上沉积捕集层，该捕集层包含第一材料。每一预涂循环进一步包括在捕集层上方沉积密封层，该密封层包含与第一材料不同的第二材料。该方法进一步包括，在处理阶段，于沉积预涂层之后，对衬底执行沉积工艺以在衬底上沉积工艺膜。

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作者：情报员