国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“DC偏置双交叉进料歧管及使用该歧管的反应器”的专利，公开号CN121593028A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，公开了在处理衬底的反应器中使用的歧管结构和配备有该歧管结构的反应器。歧管结构包括歧管筒，其竖直设置并且包括电入口；直流(DC)偏置电源，其配置成向歧管筒供应负偏置DC并且还配置成连接到电入口；顶部注入单元，其设置在歧管筒的顶侧并且包括反应物气体入口管并且配置成经由反应物气体入口管接收反应物气体；以及底部注入单元，其设置在歧管筒的下侧，并且包括源气体入口管，并且配置成经由源气体入口管接收源气体，其中歧管筒由高导电材料制成。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员