每经AI快讯,3月3日,晶盛机电在投资者关系活动中表示,公司自主研发的12英寸常压硅外延设备顺利交付国内头部客户,其电阻率、厚度均匀性、外延层缺陷密度、生产效率以及工艺重复性等关键指标达到国际先进水平。
晶盛机电:12英寸常压硅外延设备关键指标达国际先进水平
每经AI快讯,3月3日,晶盛机电在投资者关系活动中表示,公司自主研发的12英寸常压硅外延设备顺利交付国内头部客户,其电阻率、厚度均匀性、外延层缺陷密度、生产效率以及工艺重复性等关键指标达到国际先进水平。
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