国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“混气装置及半导体工艺设备”的专利,公开号CN121593027A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,本申请公开一种混气装置及半导体工艺设备,属于半导体制造技术领域。混气装置包括混气部件、第一匀气板和第二匀气板,混气部件设有混气空间,第一匀气板和第二匀气板沿混气部件的高度方向间隔设置于混气空间内,第一匀气板位于第二匀气板的上方,第一匀气板与混气部件形成第一匀气空间,第一匀气板、第二匀气板以及混气部件形成第二匀气空间,第一匀气板间隔设置多个第一匀气孔,第一匀气空间与第二匀气空间通过多个第一匀气孔连通,第二匀气板间隔设置多个第二匀气孔,混气部件还设有第一进气通道以及第二进气通道,第一进气通道与第一匀气空间连通,第二进气通道与第二匀气空间连通。

天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1388次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员