国家知识产权局信息显示,东莞新科技术研究开发有限公司申请一项名为“一种半导体表面的氧化膜的制备方法”的专利,公开号CN121604736A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,本发明公开了一种半导体表面的氧化膜的制备方法,包括:对半导体基片进行清洗处理;在清洗后的半导体基片的表面上沉积氧化硅层;在所述氧化硅层的表面上形成预备层;在所述预备层的表面上沉积硅基层;采用光刻和蚀刻技术,在所述硅基层的表面上形成氧化膜。采用本发明的技术方案能够解决氧化膜的制备工艺复杂、效率低的问题,实现简单、高效的制备氧化膜。

天眼查资料显示,东莞新科技术研究开发有限公司,成立于2004年,位于东莞市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1050万美元。通过天眼查大数据分析,东莞新科技术研究开发有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息632条,此外企业还拥有行政许可43个。

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作者:情报员