国家知识产权局信息显示,昇澜半导体(常州)有限公司取得一项名为“PZT压电薄膜晶圆的无损检测设备”的专利,授权公告号CN223966447U,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本实用新型公开了PZT压电薄膜晶圆的无损检测设备,包括底座,所述底座上设有电动滑轨,所述电动滑轨上安装有电动旋转台,所述电动旋转台上安装有真空吸盘,所述底座顶部固定连接有扫描机构,所述扫描机构一侧设有对准机构,所述对准机构包括机械手,所述机械手上安装有固定架,所述固定架上转动连接有升降螺杆,属于晶圆检测技术领域。该PZT压电薄膜晶圆的无损检测设备,通过机械手将对准座送至真空吸盘顶部,升降电机带动多个对准杆处于晶圆外侧,然后驱动电机带动对准杆沿着限位槽进行移动,使得多个对准杆同时向中央靠拢,对晶圆进行快速对准,使得晶圆能够对准真空吸盘的中心,缩短对准时间,从而能够提高检测效率。
天眼查资料显示,昇澜半导体(常州)有限公司,成立于2023年,位于常州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本379.953751万人民币。通过天眼查大数据分析,昇澜半导体(常州)有限公司共对外投资了2家企业,专利信息18条,此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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